Plateforme des Procédés Plasma Avancés (IAP3)
Plateforme des Procédés Plasma Avancés (IAP3)

Vers un guichet des technologies et procédés plasma en région Rhône-Alpes

Les technologies plasma prennent une part croissante dans les industries de haute technologie car elles répondent à des niveaux élevés d'exigence de production industrielle, en respectant l'environnement. Elles jouent un rôle stratégique dans de nombreuses applications

  • fabrication des circuits intégrés
  • micro et nanotechnologies
  • nouveaux matériaux en couches minces (matériaux magnétiques et diélectriques, supraconducteurs, polymères, biomatériaux, cristaux photoniques)
  • analyse élémentaire
  • traitement des effluents nuisibles à l'environnement (COV, gaz à effet de serre)
  • purification (gaz, matériaux), stérilisation
  • sources de rayonnement et écrans plats, ...
  • etc.

S'appuyant sur les compétences et ressources du Centre de Recherche des Plasmas, Matériaux et Nanostructures (CRPMN/LPSC), la plateforme IAP3 se met à votre service pour répondre à vos besoins :

  • Evaluer la faisabilité de l'intégration de technologies plasma à vos procédés
  • Effectuer l'étude comparative de solutions existantes en toute neutralité
  • Optimiser et développer des procédés et technologies plasma innovants et optimales pour répondre à votre problématique
  • Effectuer des prestations de traitement par plasma adaptés à vos besoins
    • pulvérisation assistée par plasma micro-onde (alliages, composites)
    • dépôt PACVD grande vitesse
    • gravure (enlèvement de résine, gravures profondes)
    • implantation O2, N2, SF6, H2, CO ...
  • Vous accompagner dans vos projets de R&D
  • Former vos équipes aux procédés et technologies plasma

Nos atouts :

  • L'excellence scientifique et technologique
    • Technologies plasma
      • Plasmas de grandes surfaces ou grands volumes
      • Plasmas très haute densité (1012 à 1013 cm-3)
      • Flexibilité (conditions opératoires, traitements hybrides / séquentiels)
      • Fiabilité / reproductibilité (procédés stables / procédés extrêmes)
    • Nouveaux procédés
      • PBII (implantation ionique, fonctionnalisation des surfaces, modification des propriétés fonctionnelles, élaboration de nanostructures)
      • Gravure (procédés en émergence)
      • Dépôts grande vitesse (supérieure au µm / min)
      • Dépôts de couches magnétiques
      • Sources de photons (UV)
  • Une solide expérience du transfert de technologie
    • dépôt de nombreux brevets et cession de licences
    • partenariats industriels ayant abouti à l'intégration en production de technologies et procédés développés par le CRPMN (nettoyage des surfaces, dépôt PACVD, réacteurs pour R&D)
      • contrats de collaboration
      • projets collaboratifs
      • accueil d'équipe R&D
      • création d'ERT (équipe de recherche technologique labellisée et co-financée par le Ministère de la Recherche) avec HEF R&D
    • création de start-up (ex. Boreal Plasma, RC-Lux)
  • L'indépendance et la neutralité pour la promotion des technologies plasma
  • Hébergé par le Laboratoire de Physique Subatomique et Cosmologie (LPSC UMR CNRS/UJF/IN2P3
  • Soutenu par l'Agence Régionale pour le Développement de l'Innovation (Membre actif du réseau plasma froids de l'ARDI Maîtrise des Matériaux)
  • Labellisé par le réseau plasma froids CNRS (60 laboratoires)




contact : jean-christophe.gillet@floralis.fr