Floralis
Filiale de valorisation - Université Grenoble Alpes
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PTA – Plateforme Technologique Amont

Salle blanche de classe 1000 offrant un service de prestation de réalisation d’étapes technologiques ou de développement de composants semi-conducteurs

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Avantages concurrentiels

Expertises

Développement de procédés pour la microélectronique :

  • Lithographie
  • Gravure
  • Dépôt
  • Métrologie


Caractéristiques clés

Les équipements de la plateforme permettent d’utiliser les substrats suivants:

  • Taille : quelques mm² jusqu’au wafer de 100mm, rigides ou flexibles
  • Matériaux : semiconducteurs, organiques, magnétiques, piézo…
  • Applications : micro&nanoélectronique MEMS, spintronique, photonique, optique, bioCHIPS

Opportunités de marché

  • Usage direct : Mise à disposition des équipements pour réaliser soi même ses opérations technologiques (ouvert aux chercheurs, ingénieurs, techniciens et étudiants)
  • Prestations : les étapes technologiques sont réalisées par le personnel qualifié de la PTA
  • Développement collaboratif : le développement technologique est alors réalisé dans un cadre collaboratif combinant les expertises techniques des partenaires

Stade de développement

NA

TRLNA

Partenariat recherché

Prestations de R&D ou prestations de réalisation d’étapes technologiques standard.

Propriété intellectuelle

NA

Chercheur / Laboratoire

Sylvain DAVID, contact@ptagrenoble.fr, https://pta-grenoble.fr

Présentation

La PTA, Plateforme Technologique Amont, est une salle blanche de classe 1000 sur le campus Minatec codirigée par le LTM (Laboratoire des Technologies de la Microélectronique du CNRS, UGA et INP) et l'IRIG (Institut Nanosciences et Cryogénie du CEA, UGA, CNRS). La salle blanche s'étend sur 700m² aux bâtiments 10.05 du CEA et BCAi du CIME Nanotech – Grenoble INP.

La PTA offre des outils technologiques de lithographie, dépôt, gravure et métrologie pour structurer des matériaux aux échelles micro- et nanométrique, et pour intégrer des matériaux et des nano-objets sous forme de composants. L’objectif de la PTA est d’offrir les moyens de micro- et nano-fabrication pour réaliser des études de faisabilité, des preuves de concept et des démonstrateurs technologiques en se limitant à de petites séries. Les moyens technologiques offerts par cette salle blanche permettent d’adresser un grand nombre de domaines d’application tels que la nanoélectronique, la spintronique, la photonique, les MEMS et NEMS, les dispositifs pour les biotechnologies…

Applications

La PTA développe un service de prestations technologiques avec un personnel dédié à ces missions. Ces prestations sont vont de la simple étape à la prise en charge d’un développement technologique. Un contact avec la cellule technologique permettra d’accorder les besoins scientifiques avec les possibilités technologiques de la plateforme. Un devis de prestation avec des phases de tests, de développement et de réalisations finales pourra être fourni en prenant en compte les difficultés qui auront été identifié dans la réalisation technologique.

La PTA s’appuie sur un ensemble d’équipements offrant de nombreuses possibilités de développement :

  • Dépôt (métaux & oxides) : Evaporation / PVD / PECVD / PEALD / LPCVD
  • Lithographie : E-Beam / UV & Deep-UV / Laser / Nanoimpression
  • Gravure : ICP / DRIE / IBE / CMP / HF Vapeur / Gravure humide
  • Métrologie : MEB / Ellipsométrie / Profilométrie / Microscopie / Réflectométrie

Contacts

Thibaud MIARD

Floralis

7 Allée Palestine
38610 Gières


Tél : +33 (0)4 56 52 04 30

E-mail : contact@floralis.fr

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